SCREENホールディングス(7735)【フットプリント半減、生産性1,5倍のウエット洗浄装置を開発



SCREEN  [7735] 東証1部 時価:7710円

SCREENホールディングス(7735)は、半導体・FDP製造装置メーカーで、ウエハー洗浄装置に強く、旺盛な半導体需要を背景に半導体製造装置の受注が高水準な他、有機EL量産装置も伸びています。更に、燃料電池製造装置にも参入しています。
同社の事業会社である、SCREENセミコンダクターソリューションズは、同シリーズの従来モデルに比べて設置面積を半減させ、生産性を1.5倍まで高めたウエット洗浄装置を開発し7月10日から、同装置の販売を開始しました。
近年、スマートフォンや車載用途を中心に、200mmの半導体ウエハーを使用して生産される電子デバイスの需要が拡大しています。更に、今後はIoTの進展によって様々な種類の電子デバイスが必要となるため、デバイスのサイズや種類、生産量に柔軟に対応できる、コストパフォーマンスに優れた洗浄装置が求められていました。
このような世界的動向を背景に同社は、長年培ってきたバッチ式洗浄装置のノウハウを継承した「コンパクトウェットステーション CWシリーズ」の最新機種「CW-2000」を開発しました。
この装置は、従来は半導体工場内のサブエリアに設置されていた薬液キャビネットや冷却ユニットなどの付帯設備を、本体内部にビルトインしたオール・イン・ワンコンセプトを採用することで、従来モデル比半減という省スペースを実現しました。また、搬送機構の刷新により、1時間当たり標準で150枚、オプションのハーフピッチ仕様では最大300枚までのウエハー洗浄が可能です。さらに、目的や用途に合わせて処理槽数を選択できるため、フレキシブルで拡張性に優れ、研究開発から量産に至るまでのさまざまなニーズに対応できる装置となっています。
同社は、今回の「生産性1,5倍のウエット洗浄装置」の発売により、IoTの加速によって需要の拡大が見込まれる、200mm以下のウエハーを使った電子デバイスの製造装置市場においてビジネスの商圏が広がることで、収益拡大に弾みがつくことが予想されます。
2017/07/27 7:40